實驗室勻膠機是一種在高速旋轉的基片上滴注各類膠液,利用離心力使膠液均勻涂覆在基片上的設備。其基本原理是在高速旋轉的基片上滴注各類膠液,利用離心力將滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上。膜的厚度取決于勻膠機的轉速和溶膠的黏度,同時也與膠液和基片間的粘滯系數、旋涂時間等因素有關。
1、放置基片
將準備好的基片放置在勻膠機的轉盤上。對于有凹槽的真空吸盤軸,應將基片輕輕放入凹槽中,并調整位置使其處于中心位置,保證基片在旋轉過程中不會偏離。對于平板結構的真空吸盤軸,應將基片水平放置在吸盤上,并輕輕按壓使其吸附牢固。
開啟真空泵(如果設備配備),調整真空閥門,使基片被牢固地吸附在吸盤上。
2、設置參數
根據不同的材料和實驗要求,設置合適的轉速和時間。一般來說,低速階段用于滴膠和初步攤開膠液,高速階段用于使膠液均勻分布。
常見的設置是先以較低的轉速(500-1000轉/分)運行幾秒鐘,使膠液初步擴散,然后再加速到較高的轉速(2000-8000轉/分)運行幾十秒到幾分鐘,以達到理想的涂層厚度。
3、滴膠
將膠液滴在基片的中心位置。對于靜態滴膠,直接將滴管或移液器中的膠液滴在靜止的基片上;對于動態滴膠,在基片旋轉的同時進行滴膠,這有助于膠液更均勻地分布在基片上。
控制滴膠的速度和量,避免過快或過多導致膠液溢出或涂層過厚。一般來說,滴膠量應根據基片的大小和需要的涂層厚度來確定。
4、啟動勻膠
按下勻膠機的啟動按鈕,設備開始按照設定的參數運行。在加速旋轉攤膠階段,觀察膠液的擴散情況,確保膠液能夠均勻地向基片邊緣擴散。
在勻速旋轉勻膠階段,保持旋轉速度的穩定性,使膠液在離心力的作用下逐漸形成均勻的涂層。
5、烘烤(如需)
如果實驗要求對涂層進行烘烤,將涂覆好的基片取下,放入烘烤設備中進行烘烤。根據涂覆材料的特性和工藝要求,設置合適的烘烤溫度和時間。烘烤過程中應注意通風,排除揮發的有害物質。
6、清洗設備
實驗完成后,關閉勻膠機電源,拔掉電源插頭。將轉盤和吸片裝置(如果有)清洗干凈,避免膠液殘留影響下次使用??梢允褂眠m當的溶劑和軟布進行清潔,注意不要損壞設備的表面。